隧道式单晶硅烘干机 多晶硅破碎

硅片微波烘干设备与传统烘干设备相比，具有以下优点：
1 没能耗浪费。微波能直接作用于物料本身，微波不锈钢加热烘干箱体及空气不需要被加热。2、干燥速度快。微波对物料内外同时加热烘干，水分由内向外扩散蒸发。3、无热惯性4、采用洁净能源电能，设备在运行过程中无废弃产生。5、操作简单、易控。设备采用全自动化控制，流水线式作业，机械化程度高。
通过原材料的筛选、长晶工艺的控制及退火工艺，实现多晶硅靶材原料的高纯度、稳定电阻率、均匀晶粒，并配套完善的检验检测手段以及加工工艺的优化，将多晶硅溅射靶材材料的品质稳定性控制到。

在光学，微电子等领域有着广泛的应用前景，是目前国际上广泛关注的功能材料。

作为重要的功能薄膜材料，它们具有良好的硬度，光学，介电性质及耐磨，抗蚀等特性。

硅靶一般可以分为单晶和多晶两种类型。多晶靶材，晶粒均匀，直径可以达到11英寸，可以加工成长方形，圆形等各种形状，还可以根据用户图纸加工尺寸要求的靶材。
微波对不同物质有不同的作用，含有性的物质容易吸收微波能量而发热。不含性则很少吸收微波加热。微波加热时，被加热物料一般都是放在用金属制造的加热室内，加热室对电波来说是个封闭的空腔，微波不能外泄，只能被加热物体吸收，加热室内的空气与相应的容器都有不会发热，所以热效率高，同时工场的环境温度也不会因此而升高，劳动生产环境明显改善。
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